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ALICAT 氣體質量流量控制器 21系列

量程0.5 SCCM - 6000 SLPM，優于1 %的精度，量程可控比寬，優于30 ms響應(ying)時間

美國ALICAT 21系列標準型質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。
可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。設備采用快速穩定的優質電磁閥以及優化的PID調校，可達到優于100 ms的控制速度，并保持極佳穩定性，并有超低壓損產品可供您選擇。

應用及案例


● 大(da)學/研究所                  ● 環境監測(ce)

● 真空(kong)行(xing)業及鍍膜            ● 工(gong)業爐窯

● 半 導   體                      ● 汽車(che)制造

● 光       伏(fu)                      ● 燃料(liao)電池

● 計量校準(zhun)       ;               ● 過程工(gong)藝氣體測量

產品特(te)色


● 數字(zi)化產品

● 多參數顯示和(he)輸出：溫度、壓力、流量(liang)等

● 多參數(shu)控制，如體積流量(liang)、質量(liang)流量(liang)和壓(ya)力

● 標(biao)配三種控制方式：數字、模(mo)擬和(he)本地面板

● 可選(xuan)高精(jing)度(du)：優于(yu)0.5%讀數

● 量程(cheng)可控(kong)比(bi)寬，0.01~100%滿量程(cheng)

● 響(xiang)應時間(jian)快，優(you)于30 ms

● 內置98種氣體(ti)

● 可現場編輯混(hun)合(he)氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混(hun)合(he)氣


精度升級


量程為0.5 SCCM -6000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下(xia)述指標(biao)升級：

質量(liang)流量(liang)普通精度    ± 0.6% 讀數或(huo)± 0.1% 滿量(liang)程（取最大值）

質量(liang)流量(liang)高精度(du)      ± 0.5% 讀(du)數或(huo)± 0.1% 滿量(liang)程（取最(zui)大值）

重(zhong)復性              ;±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量(liang)程）

質(zhi)量流量零點漂移    ± 0.01%滿量程/ ℃（從25℃開始(shi)）

                    ± 0.01%滿量程/ Atm（從校準壓力開始）

質量流(liu)量量程漂移    ± 0.01%讀數/ ℃（從25℃開始）

       ;             ± 0.1 %讀數(shu)/ Atm（從校準壓力開始）


技術指標


介(jie)質(zhi)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥(zao)的(de)氣體

介質種類    內置了98種氣體，請(qing)參考氣體兼容表

      ;      一(yi)臺設(she)備(bei)內置所有氣體(ti)，用戶可現(xian)場選擇

量    程       從(cong)0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM（詳情請(qing)咨詢）

量程(cheng)可控比（穩態）    0.01～100%滿量程(cheng)

最大顯示(shi)流量    128 %滿量程

最大可控流量    102.4 %滿量程

顯(xian) 示 屏(ping)    帶背(bei)(bei)光燈按(an)鍵，標準為LCD黑白顯(xian)示屏(ping)（帶背(bei)(bei)光），可選TFT彩色顯(xian)示屏(ping)

顯(xian)示方(fang)式    同時顯(xian)示質(zhi)量(liang)流量(liang)、體積流量(liang)、壓力(li)、溫度

精    度(du)    ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）精度(du)升(sheng)級部分見左下角

            ±（0.4 %讀數(shu) + 0.2 %滿(man)量(liang)程）（可選）

累計流(liu)量(liang)精(jing)度    流(liu)量(liang)精(jing)度之(zhi)外增(zeng)加±0.5%讀數的額(e)外誤差

重 復 性    ±（0.2% 讀數(shu) + 0.02% 滿量程）

質量流量溫度零點和滿量程漂移    0.02%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質量(liang)流(liu)量(liang)壓力零點和(he)滿量(liang)程漂移    ±（0.08 % 讀數 + 0.02 % 滿量(liang)程）/ Atm（從(cong)校(xiao)準壓力開始）

控制響應時間    30ms（與流量(liang)相關，用戶可調）

顯示(shi)響應時(shi)間    ＜10ms（與流(liu)量相(xiang)關(guan)）

預(yu)熱(re)時間    ＜1s

默認標況(kuang)(kuang)（STP）    25 ℃&1Atm（其它標況(kuang)(kuang)可調）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可(ke)選(xuan)高(gao)溫/低溫選(xuan)項）

溫(wen)度精度    ± 0.75℃

工作濕度    0 ～ 95 %，無冷(leng)凝

最大工作壓力    1 MPa表壓

最低操作(zuo)壓(ya)(ya)力    如果(guo)不做真空(kong)特殊(shu)標定，建議(yi)在(zai)絕壓(ya)(ya)80KPa以(yi)上使用；其他(ta)真空(kong)壓(ya)(ya)力建議(yi)做特殊(shu)標定

壓(ya)力精度    ±0.5%讀數（＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）

滿量(liang)程壓(ya)損(sun)    參考(kao)詳細壓(ya)損(sun)表

數(shu)據刷(shua)新頻率(lv)    數(shu)字(zi)信號(hao)40Hz@19200波(bo)特(te)率(lv)；

            ;    模擬信(xin)號：1000Hz

屏(ping)幕(mu)刷新頻率    10Hz

數字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸(shu)入/輸(shu)出信(xin)號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路(lu)模擬輸出(chu)    質量流量、體(ti)積流量、壓力(li)、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額(e)外(wai)增加±0.1%滿量(liang)程的(de)誤差

供(gong)電(dian)(dian)電(dian)(dian)壓     12-30 VDC （如選4-20 mA輸出，須為15-30 VDC ）

供(gong)電電流    250 mA，1 A，2 A（詳(xiang)情咨詢）

            額(e)外加 40 mA（ 4 - 20 mA）

電氣接口(kou)    DB9M，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN等

泄(xie)漏率(lv)（外(wai)漏）    選擇HLC選項，泄(xie)漏率(lv)可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材(cai)    質   302、303、304、316L、430FR不銹鋼、FKM、硅橡膠、環氧樹(shu)脂、聚酰(xian)胺(an)、玻璃、硅、銅、金(jin)、陶瓷

             R閥(fa)門(men)430FR不(bu)銹鋼(gang)(gang)替換為410不(bu)銹鋼(gang)(gang)

過程連接    標準為NPT內螺(luo)紋，詳(xiang)情參(can)考(kao)壓損表(biao)

安裝位置    小(xiao)閥門無要求(qiu)，R閥門需閥體垂直向上安裝

防護等級    IP40（IP66可(ke)選）

認    證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明(ming)、CSA （可選）


選項配件


標(biao)準(zhun)性能
多功能數字顯示屏
顯示多種測量參數：質量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數字輸出
RS-232多點式數字輸入
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號輸入可選
可調節PID算法 
內置30種氣體可選
200:1 量程可調比
NPT接頭
可控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質保


可選性能(neng)
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數字信號輸出
RS-485數字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體（最多4種）
定制流量范圍
不銹鋼閥門
高流量低壓損閥門
防爆選項
集成式電位計控制

機構認證


尺寸詳圖


                         ALICAT 21系列18V1.jpg



尺寸圖-MCRH-5000SLPM-D.jpg


尺寸壓損


滿量程質量流量控制器

滿量程壓損1（psid）

排氣到大氣中

外觀尺(chi)寸

連接接口(kou)2

0.5 sccm - 50 sccm

1.0

3.9''H ×3.4''W ×1.1''D

M-5 （10-32）（內螺紋(wen)）3

100 sccm - 500 sccm

1.0

4.1''H ×3.6''W ×1.1''D

1/8''NPT內螺(luo)紋(wen)

1 slpm

1.5

2 slpm

3.0

5 slpm

2.0

10 slpm

5.5

20 slpm

20.0

50 slpm

2.0

5.5''H ×7.7''W ×2.3''D

1/4''NPT內螺紋

100 slpm

3.2

250 slpm

2.4

5.5''H ×7.7''W ×2.3''D

1/2''NPT內(nei)螺紋

500 slpm

6.5

5.5''H ×7.4''W ×2.3''D

3/4''NPT內螺(luo)紋

（2000 SLPM 可選配1-1/4''NPT內螺(luo)紋）

1000 slpm

14.0

1500 slpm

17.0

5.5''H ×8.1'W ×2.9''D

2000 slpm

28.6

3000 slpm

16.8

5.5''H ×8.9''W ×2.9''D

1-1/4''NPT內(nei)螺紋

5000 slpm

14.1

6.3''H ×10.0''W ×4.5''D

1-1/2''NPT內螺紋

1、另(ling)有低壓損系(xi)列(lie)質量流量控制器(qi)。

2、與Beswick?，Swagelok?管，Parker?，表(biao)面密封(feng)，快接接頭和卡套轉(zhuan)接頭相兼(jian)容，也可以(yi)按照(zhao)用(yong)戶需求與VCR，SAE接頭相兼(jian)容。

3、Buna-N表面(mian)密封(feng)至1/8''NPT內(nei)螺紋。


產品大圖

質量流量控制器-標準型-MC-21.png


型號列表


見“尺寸連(lian)接(jie)”。


氣體編碼


選型表截圖長圖.png

* 混合(he)氣體編(bian)碼為“800”，選項中須(xu)有具體混合氣(qi)體比例說明(ming)。

* 對于(yu)液(ye)體流量計和控制(zhi)器，液(ye)體指純水，液(ye)體編碼為“900”。

* ALICAT非抗腐蝕(shi)流量計/控制器產品，可支持①類氣體。

* ALICAT抗(kang)腐蝕流(liu)量控制(zhi)器產品，可支持①、②類氣體(ti)。

* ALICAT抗腐蝕流(liu)量計產品，可支(zhi)持①、②、③類氣體(ti)。

* 未在(zai)表中列出的氣體(ti)，也可能被測控，具(ju)體(ti)請咨詢(xun)我們。