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ALICAT 氣體質量流量計 20系列
品牌: ALICAT
量 程 0.5 sccm — 6000 slpm 測量范圍 0.01 ~ 100% 滿量程 內置98種氣體,10ms快速響應(ying)時(shi)間,精度優于1%
ALICAT 氣體質量流量計-低壓損型 20W系列
量 程 0.5 SCCM —— 1000 SLPM 可測范圍廣,0.01~100%滿量程 滿量程超低壓損最低為480Pa
ALICAT 氣體質量流量計-抗腐蝕型 20S系列
量 程 0.5 SCCM - 5000 SLPM 精 度 ±(0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程) 層流差壓原理 抗腐蝕型
ALICAT 高壓氣體質量流量計 20Q系列
高壓(ya)應用實時多元流量測(ce)量
ALICAT 氣體質量流量控制器 21系列
量 程0.5 SCCM - 6000 SLPM 響應時間小(xiao)于(yu)30 ms
ALICAT 低壓損氣體質量流量控制器 21W系列
量 程 0.5 SCCM - 1000 SLPM 優于1 %的精度 量程可控比寬,0.5~100 %滿量程
ALICAT 氣體質量流量控制器-耐腐蝕型 21S系列
量 程 0~0.5 SCCM —— 0~6000 SLPM 精 度 ±(0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程) 量程可(ke)控比1%-100%
ALICAT 高壓氣體質量流量控制器 21Q系列
響應式氣體流量控制(zhi),適用(yong)于高(gao)壓應用(yong)
ALICAT 帶集成截止閥氣體質量流量控制器 21V系列
量 程 0~0.5 SCCM —— 0~20 SLPM 量程比 200:1 內(nei)置(zhi)98種氣體,100ms響應(ying)時間,優于1%精度
ALICAT 截止閥質量流量控制器 21VS系列
量 程 0~0.5 SCCM —— 0~20 SLPM 量程比 100:1 內置128種(zhong)氣體,100ms快速響(xiang)應時(shi)間,優(you)于(yu)1%的精度
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