產品中心
Product Center
量程0.5 SCCM - 1000 SLPM，優于1 %的精度，測量范圍廣，優于127ms響應時間
美國ALICAT 20W系列低壓降質量流量計，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。
20W系列具有超低壓損，滿量程壓損最低可達480Pa。可用于快速精確地測量過程氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度適用于多種流量測控場合，尤其是要求低壓損的應用場合。?
應用及案例
● 低溫容器檢測 ● 大學/研究所
● 泄漏檢測 ● 環境監測
● 汽車制造 ● 過程工藝氣體測量
產品特色
● 數字化產品
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 可選高精度：可優于0.5%
● 可測范圍廣，0.01~100%滿量程
● 滿量程超低壓損最低為480Pa
● 響應時間快，優于10 ms
● 內置98種氣體
● 可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.75% 讀數或± 0.1% 滿量程（取最大值）
質量流量高精度 ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程（取最大值）
重復性 ±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程）
質量流量零點漂移 ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差
質量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數 / ℃溫差± 0.1 % 讀數 / Atm壓力差
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體，請參考背面
一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
量程可測比 0.01%～100%滿量程
最大顯示流量 128%滿量程
顯 示 屏 帶按鍵背光開關，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ± （0.8%讀數 + 0.2%滿量程） 精度升級部分見左下角
± （0.4%讀數 + 0.2%滿量程）（可選）
累計流量精度 流量精度之外額外增加±0.5%讀數誤差
重 復 性 ±（0.2%讀數+0.02%滿量程）
質量流量溫度零點和滿量程漂移 0.03%滿量程/ ℃（從25℃開始）
質量流量壓力零點和滿量程漂移 ±（0.08 % 讀數 + 0.02 % 滿量程）/ Atm
（從校準壓力開始）
響應時間 127 ms（可調）
預熱時間 < 1 s
默認標況（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ～ 95 %，無冷凝
最大工作壓力 0.3 MPa表壓，進出口最大允許瞬時壓差70 Kpa
最低操作壓力 如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；
其他真空壓力建議做特殊標定
壓力精度 ±0.75%讀數（＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數據刷新頻率 數字信號40 Hz@ 19200波特率；模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數字輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、
Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模擬輸出信號 0 - 5 VDC、1- 5 VDC、0 -10 VDC、4-20mA
可選第二路模擬輸出 質量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差
供電電壓 9-24 VDC（如選4-20 mA或0-10VDC輸出，須為12-24VDC）
供電電流 40 mA （+ 40 mA輸出電流在 4-20 mA 或0-10VDC）
電氣接口 DB9M，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質 302、303不銹鋼、Viton、硅橡膠、環氧樹脂、
玻璃增強聚苯硫醚、鋁、玻璃、硅、金
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA（可選）
●標準性能
多功能數字顯示屏
顯示多種測量參數：質量流量、體積流量、溫度和壓力
超低壓損
無需預熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數字輸出
RS-232多點式數字輸入 (僅用于質量流量控制器)
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號輸入可選 (僅用于質量流量控制器)
可調節PID算法 (僅用于質量流量控制器)
內置30種氣體可選
200:1 量程可調比
NPT接頭
可測量和控制從0.5SCCM到500SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質保
●可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數字信號輸出
ProfiBUS數字信號輸入(僅用于質量流量控制器)
RS-485數字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出 (僅用于質量流量計)
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR、VCO 接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體（最多4種）
定制流量范圍
不銹鋼閥門 (僅用于質量流量控制器)
高流量低壓損閥門 (僅用于質量流量控制器)
集成式電位計控制 (僅用于質量流量控制器)
待更新。
滿量程質量流量計 | 滿量程壓損1（PSID） 排氣到大氣中 | 外觀尺寸 | 過程連接尺寸1 |
0.5 ~ 5 SCCM | 0.07 PSID | 3.897''H x 2.375''W x 1.050''D | M5 內螺紋（10-32兼容）2 |
10 ~ 20 SCCM | 0.07 PSID | ||
50 SCCM ~ 5 SLPM | 0.07 PSID | 4.067''H x 2.375''W x 1.050''D | 1/8'' NPT 內螺紋 |
5 SLPM | 0.07 PSID | 4.167''H x 2.375''W x 1.050''D | |
10 SLPM | 0.08 PSID | 4.207''H x 2.625''W x 1.050''D | 1/4'' NPT 內螺紋 |
20 SLPM | 0.25 PSID | 4.367''H x 4.000''W x 1.600''D | |
40 SLPM | 0.12 PSID | 4.967''H x 4.000''W x 1.600''D | 1/2'' NPT 內螺紋 |
50 SLPM | 0.14 PSID | 3/4'' NPT 內螺紋 | |
100 SLPM | 0.24 PSID | ||
250 SLPM | 0.60 PSID | ||
500 SLPM | 0.39 PSID | 5.287''H x 5.200''W x 2.900''D | |
1000 SLPM | 0.24 PSID | 6.267''H x 5.200''W x 3.840''D | 2'' NPT 內螺紋 |
1、有關可用的進程連接選項，請來電咨詢，例如： 壓縮、表面密封、推入式連接、BSPP、SAE或Swagelok?（包括管子、VCO和VCR）。 2、與Buna-N O型密封圈一起裝箱至1/8“內螺紋NPT接頭。 | |||
* 混合氣體編碼為“800”，選項中須有具體混合氣體比例說明。
* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。
* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產品，可支持①類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量控制器產品，可支持①、②類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量計產品，可支持①、②、③類氣體。
* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。
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