ALICAT 截止閥質量流量控制器 21VS系列

美國ALICAT 21VS系列帶截止閥抗腐蝕型質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的21VS系列數字式質量流量控制器可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度。此外，21VS系列數字式質量流量控制器是專為需要緊密關閉應用而設計的，如真空鍍膜和濺射過程等。該集成氣動切斷閥是常閉的，并且在閉合狀態下其最大氦氣泄漏率僅為1x10 atm scc/s。

應用及案例

● 大學/研究所

● 環境監(jian)測

● 真空行業(ye)及鍍膜

● 工業爐窯(yao)

● 汽(qi)車制造

● 計(ji)量校(xiao)準(zhun)

● 過程工藝(yi)氣(qi)體(ti)測量

產品特色技術指標選項配件安裝手冊機構認證尺寸詳圖產品大圖型號列表氣體編碼宣傳彩頁

產品特色

● 數(shu)字化產品(pin)

● 帶氣動截(jie)止閥，泄漏率低

● 多參數顯(xian)示和輸出：溫度、壓(ya)力(li)、流量等

● 多參數控制:體積流量、質量流量和壓(ya)力

● 可(ke)選高(gao)精(jing)度(du) 優于0.5%

● 高量程比 100：1

● 響應時間快僅需100 ms（可調）

● 內(nei)置128種常規以及腐蝕性氣體

● 可現場標(biao)定(ding)混(hun)合氣(qi)體（最(zui)多5種(zhong)成分），并存儲(chu)20種(zhong)混(hun)合氣(qi)

● 可適(shi)用于諸多腐蝕性氣體

技術指標

介質要(yao)求 ; 潔凈、干燥的氣體，腐(fu)蝕和非(fei)腐(fu)蝕性均可(ke)

介質種類內(nei)置(zhi)了128種氣(qi)體，請參(can)考“產品(pin)資(zi)料下載”中氣(qi)體兼容表一(yi)臺設備內(nei)置(zhi)所有氣(qi)體，用戶可(ke)現場選擇(ze)

量(liang) ; 程(cheng) 從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM（詳情請咨詢）

量程比 100:1

最大顯示(shi)流量：102.4%FS

顯示(shi) 屏(ping)(ping) 帶按鍵，標準為LCD顯示(shi)屏(ping)(ping)，可選TFT彩色顯示(shi)屏(ping)(ping)

顯示(shi)方式同(tong)時顯示(shi)質量(liang)流量(liang)、體積流量(liang)、壓力、溫(wen)度(du)

精度   ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀(du)數 FS-滿量程(cheng)

; 高精度 ±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配

  僅(jin)適用(yong)于量程為(wei)5SCCM-500SLPM的設備

閥門(men)泄漏率不(bu)超過(guo)1x10 atm scc/sec (He)

重復性 ± 0.2% FS

零點漂移(yi)&滿量(liang)程漂移(yi)   0.02% FS / ℃ / Atm

響(xiang)應時(shi)(shi)間 100ms 預熱時(shi)(shi)間：<1s

標定工況 25℃ & 100kPa 絕壓(ya)

  20℃ & 100kPa 絕壓(ya)

  0 ℃ & 100kPa 絕(jue)壓 (三種工況現場可切(qie)換)

工作溫度(du) -10 ～ +50 ?C

工作濕度 0-100%,無冷凝

標(biao)準(zhun)最大工作(zuo)壓力  1MPa 表壓

標準(zhun)極限耐(nai)壓(ya) 1.2MPa 表壓(ya)

中壓選項 2MPa

數(shu)字輸入/輸出信號(hao)：RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模(mo)擬(ni)輸(shu)入/輸(shu)出信號：0-5Vdc或(huo)(huo)1-5Vdc或(huo)(huo)0-10Vdc或(huo)(huo)4-20mA可選第二(er)路模(mo)擬(ni)輸(shu)出：質量(liang)流量(liang)或(huo)(huo)體積流量(liang)或(huo)(huo)壓(ya)力或(huo)(huo)溫(wen)度

供(gong)電(dian)電(dian)壓 7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電(dian)電(dian)流 250mA ～ 750mA

電氣接(jie)口 8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工(gong)業(ye)接(jie)頭

材   質 316L不(bu)銹鋼、303不(bu)銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根(gen)據特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

安(an)裝方式對(dui)位置無要求(qiu)

防護等級 IP40

* 如(ru)選Profibus，則無(wu)模擬信號，無(wu)顯示，其(qi)供電電壓及供電電流需咨詢我們

選項配件

安裝手冊

機構認證

尺寸詳圖

產品大圖

型號列表

氣體編碼

選型表截圖長圖.png

* 混合(he)氣體編(bian)碼為“800”，選項中須有具體(ti)混合氣(qi)體(ti)比例說(shuo)明。

* 對(dui)于液體流(liu)量(liang)計和控制器(qi)，液體指純水，液體編碼(ma)為“900”。

* ALICAT非抗腐蝕流量計(ji)/控(kong)制器產品，可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產品(pin)，可支(zhi)持①、②類(lei)氣體。

* ALICAT抗腐(fu)蝕(shi)流量計產品，可(ke)支(zhi)持①、②、③類氣體。

* 未在(zai)表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。

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