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量 程 0.5 sccm — 6000 slpm
測量范圍 0.01 ~ 100% 滿量程
內置98種氣(qi)體,10ms快(kuai)速響應時間,精度(du)優于(yu)1%
品牌:ALICAT
量 程 從0-10 SCCM —— 0-20 SLPM
精 度 ± (0.8%RD+0.2%FS)
量(liang)程(cheng)比(bi) 200:1,低價位, 10ms快速響(xiang)應(ying)時間